相较于传统的被动隔振方案,主动隔振平台具有很大的优势。它不仅能够有效隔离来自地面或周边设备的振动,还能应对高频、低幅等复杂振动环境,确保精密设备在*端条件下也能保持平稳运行。此外,该产品还具备智能调节功能,可根据设备的工作状态和外部环境的变化,自动调整隔振参数,实现优化的振动控制效果。广泛应用于半导体制造、精密机械加工、光学仪器检测、生物医疗实验等高精密要求的场景中,为设备的稳定运行提供坚实保障。
使用主动隔振平台的意义有:
1、从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
2、提高质量、生产量
3、更加细小特色的成像能力
4、前沿研究
5、比气动平台更稳定
6、满足SEM标准地点安装参数的解决方案
7、使得新实验室及研究设备的工程造价更低
特点:
1、宽频隔振:可在1.0Hz~200Hz范围内有效工作,覆盖低频至高频振动。
2、高精度控制:通过闭环反馈系统实现毫秒级响应,振动传递率显著降低。
3、多自由度控制:可消除多个自由度方向的振动,适用于复杂环境。
4、稳定性与灵活性:具备自动调节水平功能,适应不同实验需求。
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